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J-GLOBAL ID:201602209598126783   整理番号:16A0280732

異方性ウェットエッチングによるGaN多孔質構造の作製と光学特性評価

著者 (3件):
資料名:
巻: 63rd  ページ: ROMBUNNO.19P-H121-14  発行年: 2016年03月03日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2436-7613  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (4件):
分類
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その他の電気・電子部品  ,  エネルギー変換装置  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  屈折及び反射の測定と装置 

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