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J-GLOBAL ID：201602209598126783   整理番号：16A0280732

異方性ウェットエッチングによるGaN多孔質構造の作製と光学特性評価

著者 (3件)： 熊崎祐介 (北大 量集セ) ,  松本悟 (北大 量集セ) ,  佐藤威友 (北大 量集セ)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 63rd  ページ： ROMBUNNO.19P-H121-14  発行年： 2016年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *窒化ガリウム ,  *構造 ,  *光学的性質 ,  *キャラクタリゼーション ,  *ウェットエッチング ,  *エッチング ,  光電極 ,  ナノ構造 ,  エネルギー変換 ,  スペクトロスコピー ,  有効媒質近似 ,  屈折率
準シソーラス用語： *GaN ,  *多孔質構造 ,  *光学特性 ,  *光学特性評価 ,  *異方性エッチング ,  化学エネルギー変換 ,  拡散反射分光法 ,  電気化学エッチング

分類 (4件)： その他の電気・電子部品  (NA05090R) ,  エネルギー変換装置  (LC01020U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  屈折及び反射の測定と装置  (BD07060V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 異方性 ,  ウェットエッチング ,  GaN ,  多孔質構造 ,  作製 ,  光学特性評価