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J-GLOBAL ID:201602210705469425   整理番号:16A0041954

高分子混合試料のArクラスタースパッタリング正・負二次イオンスペクトルにおけるマトリックス効果の評価

著者 (3件):
資料名:
巻: 35th  ページ: 178  発行年: 2015年12月01日 
JST資料番号: L1366A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (3件):
分類
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質量分析計  ,  原子・分子のクラスタ  ,  有機化合物の薄膜 

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