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J-GLOBAL ID：201602212179236714   整理番号：16A0387134

微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究-非接触欠陥検出の原理検討-

著者 (4件)： 清水裕樹 (東北大) ,  松野優紀 (東北大) ,  大場裕太 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2016  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.A04  発行年： 2016年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロメートルサイズの熱検知素子を測定対象の平滑面に近接して創成する微空間での熱収支変化を検知することで,平滑面上の微小欠陥の存在を検出する手法を提案している。本報では,従来検討を進めてきた摩擦熱検知による接触式の微小欠陥検出に代わる,非接触方式での微小欠陥検出実現に向け,伝熱の基本3形態に基づいて熱検知素子-平滑面間の熱収支モデルを構築してその原理検討を実施した結果を報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *非接触測定 ,  *滑面 ,  *欠陥検査 ,  微細構造 ,  センサ ,  *温度センサ ,  *熱収支 ,  技術 ,  計装
準シソーラス用語： 平滑面 ,  熱センサ ,  計測技術

分類 (2件)： 熱量測定,熱量計  (AD06030G) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 熱収支 ,  平滑面 ,  欠陥検出 ,  研究 ,  非接触 ,  原理