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J-GLOBAL ID：201602213734325552   整理番号：16A1365407

ゲート変調イメージングによる有機TFTアレイの一括評価技術

A bulk measurement technique for organic thin-film transistor arrays by a gate modulation imaging technique.

著者 (5件)： 堤潤也 (産業技術総合研 フレキシブルエレクトロニクス研究セ) ,  松岡悟志 (産業技術総合研 フレキシブルエレクトロニクス研究セ) ,  松岡悟志 (筑波大 大学院数理物質科学研究科) ,  長谷川達生 (産業技術総合研 フレキシブルエレクトロニクス研究セ) ,  長谷川達生 (東大 大学院工学系研究科)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 85  号： 12  ページ： 1037-1041  発行年： 2016年12月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 有機半導体内にキャリヤを蓄積すると,その光透過(反射)率はごくわずかに変化する。本稿では,イメージセンサによりこのような微小変化を捉え,動作する有機薄膜トランジスタ(TFT)アレイの性能分布をイメージ化し高速・一括に評価する,ゲート変調イメージング法について解説する。印刷技術を用いたデバイス製造技術(プリンテッドエレクトロニクス技術)への応用に向けて,多数の有機TFTで構成されたアクティブバックプレーンの性能分布を非破壊・高速・一括評価した実証実験を紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： ゲート【半導体】 ,  信号変調 ,  画像処理 ,  *薄膜トランジスタ ,  イメージセンサ ,  アレイ ,  電子技術 ,  印刷 ,  蓄積 ,  光透過 ,  *性能評価 ,  可視化
準シソーラス用語： キャリア蓄積 ,  プリンテッドエレクトロニクス ,  変調【信号】 ,  *有機TFT

分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (15件)：

• 横山正明,鎌田俊英監修:プリンタブル有機エレクトロニクスの最新技術(シーエムシー出版,2015).
• 時任静士監修,手塚博昭,中村隆一編集:次世代プリンテッドエレクトロニクス技術(シーエムシー出版,2014).
• 日本印刷学会技術委員会P&I研究会編:次世代プリンテッドエレクトロニクスへ-印刷による付加型生産技術への転換(印刷学会出版部,2013).
• http://www.appliedmaterials.com/ja/products/akt-electron-beam-array-test
• J. Tsutsumi, S. Matsuoka, T. Yamada, and T. Hasegawa: Org. Electron. 25, 289 (2015).

タイトルに関連する用語 (6件)： ゲート ,  変調 ,  イメージング ,  有機TFT ,  アレイ ,  評価