抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)デバイスにおける微小構造体の寸法範囲はマルテンサイト鋼等,高強度金属材料における,固溶強化,転位強化,粒界強化等の強度発現機構の寸法範囲に一致している。MEMS材料の評価試験技術は金属材料の強度発現に関わる組織構成要素の役割の解明に有効である可能性がある。著者らは,この点に着眼して,独自に開発したマイクロ引張試験技術と金属組織学的評価方法を融合させ,金属材料の強度発生発現メカニズムの解明に取り組んできた。本稿では,マイクロ引張試験法の金属組織学的評価法における活用法について考察し,ラスマルテンサイトの微細で複雑なラス構造の塑性変形の力学特性における役割について,ラスマルテンサイト晶癖面方位依存性,ラス面内すべりと臨界分解せん断応力,降伏応力,等に関する新たな知見を紹介した。