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J-GLOBAL ID：201602219311182314   整理番号：16A0210184

スプレー成膜法による粗面を有するSnO₂薄膜の作製と評価

Preparation of the Rough SnO₂ Thin Film by Spray Deposition

著者 (10件)： 松本光平 (仙台高専) ,  山田晃大 (仙台高専) ,  志田共晶 (仙台高専) ,  柏真理実 (仙台高専) ,  佐々木匠 (仙台高専) ,  末永貴俊 (仙台高専) ,  佐藤友章 (仙台高専) ,  PAK K. (仙台高専) ,  関成之 (仙台高専) ,  内田孝幸 (東京工芸大 大学院)
資料名： Journal of Flux Growth  (Journal of Flux Growth)
巻： 10  号： 2  ページ： 158  発行年： 2015年12月11日 
JST資料番号： L7066A  ISSN： 1881-5316  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 酸化スズ ,  ガラス ,  *化学蒸着 ,  噴霧機 ,  シート抵抗 ,  基板温度 ,  粗面 ,  *透明導電膜
準シソーラス用語： *二酸化スズ ,  スマートウインドウズ ,  *スプレーCVD

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： スプレー ,  成膜 ,  粗面 ,  薄膜 ,  作製 ,  評価