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J-GLOBAL ID：201602220794993559   整理番号：16A1123677

自己支持二値化BEYNON-GABOR波片の調製とその一段集束特性【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of self-standing binary Gabor zone plate and its single order diffraction

著者 (8件)： Li Zhaoguo (Research Center of Laser Fusion, China Academy of Engineering Physics) ,  Meng Lingbiao (Research Center of Laser Fusion, China Academy of Engineering Physics) ,  Zhou Minjie (Research Center of Laser Fusion, China Academy of Engineering Physics) ,  Diao Kaidi (Research Center of Laser Fusion, China Academy of Engineering Physics) ,  Yi Yong (School of Materials Science and Engineering, Southwest University of Science and Technology) ,  Zhu Xiaoli (Key Laboratory of Microelectronic Devices and Integration Technology, Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences) ,  Wu Weidong (Research Center of Laser Fusion, China Academy of Engineering Physics) ,  Zhang Jicheng (Research Center of Laser Fusion, China Academy of Engineering Physics)
資料名： Wuli Xuebao  (Wuli Xuebao)
巻： 65  号： 12  ページ： 124207_01-124207_07  発行年： 2016年 
JST資料番号： B0628A  ISSN： 1000-3290  CODEN： WLHPA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： GABORは理想的な単焦点焦点光学素子であるが、調製は困難である。本論文では、集束イオンイオン技術を用いて、30リング、20セクターの二値化BEYNON-GABORゾーンを成功裏に作製し、その有効面積半径は700ΜM、第一リング半径は90ΜMである。本論文において,各-GABOR波帯の自己組織化,自己支持,および空洞の構造特性を実現するために,異方性エッチング孔の底面を使用した。波長が355NMのレーザにおいて、その光学的性質を測定した結果、調製したBEYNON-GABORゾーンの主光軸には1級回折回折後の焦点が存在し、高次回折焦点が存在せず、優れた単焦点集束性能を有することが分かった。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 光学的性質 ,  *集束 ,  光学素子 ,  波長 ,  回折 ,  自己組織化 ,  レーザ ,  構造特性
準シソーラス用語： 光軸 ,  異方性エッチング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： binary Beynon-Gabor zone plate ,  self-standing ,  diffraction property ,  focused ion beam direct writing

分類 (2件)： レーザ一般  (BD04030T) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 自己 ,  支持 ,  二値化 ,  波 ,  調製 ,  集束