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J-GLOBAL ID：201602222388877184   整理番号：16A0973873

中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(第3報)-石英ガラス基板のプラズマジェット加工における加工速度の基板温度依存性-

著者 (8件)： 後藤惟樹 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  小林勇輝 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  遠藤勝義 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山崎大 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  丸山龍治 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  曽山和彦 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  林田洋寿 (総合科学研究機構 東海事業セ CROSS東海)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2016  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.E68  発行年： 2016年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 我々は大気圧マイクロ波プラズマジェットを用いた数値制御PCVMにより,中性子顕微鏡に用いる合成石英製Wolter I型ミラーマンドレルの作製に取り組んでいる。プラズマ加工のように加工物表面の温度上昇を伴う化学的加工では,表面温度とエッチングレートの相関の把握が重要である。本報では,表面温度計測に基づくエッチングレートの補正に必要な,プラズマエッチング反応における合成石英ガラスの活性化エネルギーを実験的に求めた。(著者抄録)

シソーラス用語： *中性子ビーム ,  集光 ,  *マンドレル ,  *反射鏡 ,  石英ガラス ,  *プラズマジェット ,  マイクロ波放電 ,  *プラズマエッチング ,  *加工速度 ,  アルゴン ,  酸素 ,  ニッケル化合物 ,  炭化物 ,  チタン ,  多層膜 ,  ビーム光学 ,  *表面温度 ,  脂肪族塩素化合物
準シソーラス用語： Abbe数

分類 (2件)： その他の粒子光学  (BD02080I) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

物質索引 (1件)： 四塩化炭素

タイトルに関連する用語 (10件)： 中性子 ,  集光 ,  Wolterミラー ,  マンドレル ,  作製 ,  石英 ,  ガラス基板 ,  プラズマジェット ,  加工速度 ,  温度依存性