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J-GLOBAL ID：201602232276206278   整理番号：16A0425099

ドレスト光子が切り拓く革新的光技術 第2回 超平坦研磨技術

著者 (1件)： 八井崇 (東大)
資料名： Optronics  (Optronics)
号： 413  ページ： 204-207  発行年： 2016年05月10日 
JST資料番号： Y0019A  ISSN： 0286-9659  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ドレスト光子フォノン(DPP)によってもたらされる新しい加工技術として表面平坦化加工技術の進展について述べた。従来の表面平坦化手法では,機械化学研磨(CMP)が用いられた。この手法は研磨パッドと被研磨物を機械的に接触して研磨するため,表面粗さの低減に限界があった。その問題を解決する手法がDPPエッチングである。合成石英のDPPエッチングについて詳細に述べた。このように,DPPを利用することで,従来の伝搬光を用いた光技術では原理的に実現不可能な現象が実現可能になる。

シソーラス用語： 光子 ,  近接場 ,  *研磨 ,  フォノン ,  *エッチング ,  石英ガラス
準シソーラス用語： ドレスト光子 ,  平坦化

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： ドレスト光子 ,  光技術 ,  平坦 ,  研磨