文献

J-GLOBAL ID：201602236814263998   整理番号：16A0635561

大気圧での閉ループ振動制御によるパラメトリック駆動MEMS共振器【Powered by NICT】

Parametric drive MEMS resonator with closed-loop vibration control at ambient pressure

著者 (6件)： Mingliang Song (Dept. of Precision Instrum., Tsinghua Univ., Beijing, China) ,  Bin Zhou (Dept. of Precision Instrum., Tsinghua Univ., Beijing, China) ,  Zhiyong Chen (Dept. of Precision Instrum., Tsinghua Univ., Beijing, China) ,  Hongbo Wang (Dept. of Precision Instrum., Tsinghua Univ., Beijing, China) ,  Tian Zhang (Dept. of Precision Instrum., Tsinghua Univ., Beijing, China) ,  Rong Zhang (Dept. of Precision Instrum., Tsinghua Univ., Beijing, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： ISS  ページ： 85-88  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,常圧で駆動されるパラメトリックできる閉ループ振動制御を用いたMEMS共振器を報告した。非交差指形櫛状フィンガーはパラメトリック力電極として使用され,最適化された設計は,電極は大きな静電剛性,大気圧と低Q値(65.8)で実現可能性パラメトリック駆動を行うことが可能である。パラメトリック駆動を用いて閉ループ振動制御をディジタル電子システムで実現した。共振器の星までプロセス制御方法を検証し,0.2s以下起動時間と振幅の標準偏差は0.04mV(300ppm)であった。提案したパラメトリック駆動閉ループ制御法は低真空または大気圧でのMEMS共振センサにおける使用,駆動電圧を減少させることにより,包装コストと電力消費を低減することができた。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 標準偏差 ,  剛性 ,  *共振器 ,  フィードバック制御 ,  Q値 ,  プロセス制御 ,  *MEMS ,  ディジタル方式 ,  電力消費 ,  最適化 ,  *共振 ,  電子装置 ,  *振動制御
準シソーラス用語： 駆動電圧 ,  *MEMS共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 音声処理  (JE05000E)

タイトルに関連する用語 (3件)： 大気圧 ,  振動制御 ,  MEMS共振器