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J-GLOBAL ID：201602237032842949   整理番号：16A1255584

V-ZR合金薄膜は,化合物,微細構造,および硬度であった。【JST・京大機械翻訳】

Deposition and Property Characterization of Co-Sputtered V-Zr Alloy Coatings

著者 (5件)： Qi Jinyan (State Key Laboratory of Metal Matrix Composites,Shanghai Jiaotong University) ,  Sun Shiyang (State Key Laboratory of Metal Matrix Composites,Shanghai Jiaotong University) ,  Shi Kaicheng (State Key Laboratory of Metal Matrix Composites,Shanghai Jiaotong University) ,  Shang Hailong (State Key Laboratory of Metal Matrix Composites,Shanghai Jiaotong University) ,  Li Geyang (State Key Laboratory of Metal Matrix Composites,Shanghai Jiaotong University)
資料名： Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao  (Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao)
巻： 36  号： 7  ページ： 795-799  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2159A  ISSN： 1672-7126  CODEN： CKKSDV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 合金中の金属間化合物の微細構造と機械的性質への影響を明らかにするために,一連のZR含有量のV-ZR合金薄膜を,二重ターゲットマグネトロンスパッタリングによって調製した。X線回折,X線回折,透過型電子顕微鏡,およびナノ機械的プローブを用いて,ZR含有量に及ぼす微細構造と硬度の影響を研究した。研究結果は以下を示す。ZR薄膜は,スパッタリング膜の成長のために,Vの格子中に飽和し,結晶格子の歪みをもたらし,ZR含有量が増加すると,VとV2ZRからなる非晶質構造が形成される。それは,主にV_2ZR化合物からなる非晶質に変化した。微細構造の変化に対応して,膜の硬度は低ZR含有量では過飽和固溶体と結晶粒のナノ結晶化により急速に増加したが,非晶質構造を形成するとV_2ZRの増加により高い値を維持した。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 金属間化合物 ,  過飽和固溶体 ,  *微細構造 ,  結晶粒 ,  *硬度 ,  X線回折 ,  *薄膜 ,  *合金 ,  非晶質 ,  透過型電子顕微鏡 ,  高速度 ,  スパッタリング
準シソーラス用語： ナノ結晶化 ,  非晶質構造 ,  *合金薄膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： V-Zr alloy ,  Film ,  Microstructure ,  Hardness ,  Magnetron sputtering

分類 (2件)： 変態組織,加工組織  (WB01030N) ,  粉末製造  (WC02020M)

タイトルに関連する用語 (3件)： 合金薄膜 ,  微細構造 ,  硬度