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J-GLOBAL ID：201602237295083568   整理番号：16A0909468

アーク蒸発Al-Cr-Nコーティングの耐熱性に対するバイアスポテンシャルと層配置の影響

Impact of bias potential and layer arrangement on thermal stability of arc evaporated Al-Cr-N coatings

著者 (7件)： Sabitzer C. (Christian Doppler Laboratory for Application Oriented Coating Development at the Institute of Materials Science and Technology, Vienna University of Technology, 1040 Vienna, Austria) ,  Paulitsch J. (Christian Doppler Laboratory for Application Oriented Coating Development at the Institute of Materials Science and Technology, Vienna University of Technology, 1040 Vienna, Austria) ,  Paulitsch J. (Institute of Materials Science and Technology, Vienna University of Technology, 1040 Vienna, Austria) ,  Kolozsvari S. (Plansee Composite Materials GmbH, 86983 Lechbruck am See, Germany) ,  Rachbauer R. (Oerlikon Balzers Coating AG, 9496 Balzers, Liechtenstein) ,  Mayrhofer P.H. (Christian Doppler Laboratory for Application Oriented Coating Development at the Institute of Materials Science and Technology, Vienna University of Technology, 1040 Vienna, Austria) ,  Mayrhofer P.H. (Institute of Materials Science and Technology, Vienna University of Technology, 1040 Vienna, Austria)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 610  ページ： 26-34  発行年： 2016年07月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多層と同様に均一成長の陰極アーク蒸発Al_xCr_1-xNコーティングを,x=0.7,0.75,0.85および0.9の組成と-40,-80および-120VのバイアスポテンシャルでAl_xCr_1-xターゲットを用いて作製した。蒸着直後のコーティングの機械特性は,印加バイアスポテンシャルを増加させることによって,増大できたが,N₂放出下での立方晶Crへの相分解とCr-N解離に関して,耐熱性は減少した。固有の欠陥密度,個々のより高低Alを含む層の混合および特にマルチ相コーティング中の界面の部分はバイアスポテンシャルによって非常に影響を及ぼされた。減少した耐熱性のため,バイアスポテンシャルを増加させることによる硬度増大はTa≧600°Cのために(蒸着直後)単相立方晶の構造化コーティングにおいて既に失われた。それ故に,-40Vで作製されたAl_0.7Cr_0.3Nコーティングは,Ta≧600°Cですでに硬度において-120Vバイアス対応物より優れています。立方晶と六方晶系ウルツ鉱タイプ相を含む多層コーティングにおいては異なります。もっとも,構造変化に関する耐熱性もバイアス増加で減少し,アニーリング処理でそれらの機械特性はそれほど影響を及ぼされなかった。特にAl_0.75Cr_0.25N/Al_0.9Cr_0.1N多層は,-120Vバイアスで作製されると1100°Cまでの全アニーリング温度範囲で30±3GPaの卓絶した硬度値を示した。ここに,蒸着中の増加バイアスは濃密コーティングを導きそして高いAlを含む層による配置は相分解とCr-N解離に関して改良された抵抗を提供します。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *イオンめっき ,  *窒化物 ,  アルミニウム化合物 ,  *クロム化合物 ,  *バイアス ,  *電圧 ,  *被覆 ,  機械的性質 ,  立方晶系 ,  *耐熱性 ,  *硬度 ,  多層膜 ,  熱処理 ,  分解
準シソーラス用語： *陰極アーク蒸着 ,  機械特性 ,  相分解

著者キーワード (7件)： AlCrN ,  CrAlN ,  Multilayer arc evaporation ,  Bias potential ,  Structure ,  Hardness ,  Thermal stability

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (9件)： アーク ,  蒸発 ,  Al ,  Cr ,  コーティング ,  耐熱性 ,  バイアス ,  ポテンシャル ,  層