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J-GLOBAL ID：201602240392162570   整理番号：16A1267796

高次回折の完全に抑制した二元準周期的ホールアレイ【Powered by NICT】

Binary quasi-periodic hole array with the completely suppression of high order diffractions

著者 (4件)： Lina Shi (Key Laboratory of Microelectronic Devices & Integrated Technology Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Hailiang Li (Key Laboratory of Microelectronic Devices & Integrated Technology Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Gao Nan (Key Laboratory of Microelectronic Devices & Integrated Technology Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Xie Changqing (Key Laboratory of Microelectronic Devices & Integrated Technology Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： PIERS  ページ： 4587-4588  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スペクトル測定は,現代の光科学と工学のほとんどallaspectsにおいて中心的役割を果たす。広いスペクトル測定では,望ましくない高次回折は第一の解析の精度を劣化させる大きくと重複した。のみ0次と+1/ 1次回折の正弦波透過回折格子は白黒構造よりも作製が難しい。,高次回折の抑制と白黒構造を設計するための目標であった。最近,高次回折の抑制と種々の二元構造が開発されてきた[2~5]。しかし,複雑な形状あるいは二つの隣接溝間の非常に小さいギャップを実現することは困難であるので報告された研究は,高次回折の完全な抑制を得ることができない。さらに,一次元格子に基づくこれらの構造は自由に立っていることができない。残念なことに,支持膜は80%エネルギーX線を吸収する。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 透過 ,  回折格子 ,  一次元 ,  正弦波 ,  X線 ,  *回折
準シソーラス用語： *ホールアレイ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  音声処理  (JE05000E) ,  数値計算  (JE02000J)

タイトルに関連する用語 (2件)： 回折 ,  ホールアレイ