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J-GLOBAL ID：201602240879956390   整理番号：16A0636203

超高感度をもつナノ加工トルクセンサ【Powered by NICT】

A nanomachined torque sensor with ultrahigh sensitivity

著者 (12件)： Jian Guo Huang (Sch. of Mech. Eng., Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, China) ,  Cat Hong (Inst. of Microelectron., A*STAR, Singapore, Singapore) ,  Yuan Dong Gu (Inst. of Microelectron., A*STAR, Singapore, Singapore) ,  Bin Dong (Inst. of Microelectron., A*STAR, Singapore, Singapore) ,  Jun Feng Song (Inst. of Microelectron., A*STAR, Singapore, Singapore) ,  Zhen Chuan Yang (Nat. Key Lab. of Sci. & Technol. on Micro, Peking Univ., Beijing, China) ,  Yu Feng Jin (Nat. Key Lab. of Sci. & Technol. on Micro, Peking Univ., Beijing, China) ,  Yu Long Hao (Nat. Key Lab. of Sci. & Technol. on Micro, Peking Univ., Beijing, China) ,  Jiu Hui Wu (Sch. of Mech. Eng., Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, China) ,  Tian Ning Chen (Sch. of Mech. Eng., Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, China) ,  Dim-Lee Kwong (Inst. of Microelectron., A*STAR, Singapore, Singapore) ,  Ai Qun Liu (Sch. of Electr. & Electron. Eng., Nanyang Technol. Univ., Singapore, Singapore)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： MEMS  ページ： 858-861  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,初めて,スプリットリング共振器の中の新しいナノスケールトルクセンサを報告した。機械共振器はリング共振器に埋め込まれた,基板から200nmで分離されている。リング共振器の極端な感度を利用して,トルクセンサは80fM/Hz05の変位ノイズフロアを達成した。これは0.17×10-18Nmと小さい小トルクに対応している。特に,プラットフォームは新しい物理的デバイスのためのオプトメカニクスにおける分散と散逸結合を調べるために用いることができる,非常に小さなトルクを含む物理的測定の広い範囲の新たな扉を開く。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *ナノメータ加工 ,  リング共振器 ,  *トルク ,  *トルクセンサ
準シソーラス用語： オプトメカニクス ,  機械共振器 ,  スプリットリング共振器 ,  *超高感度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 音声処理  (JE05000E) ,  フィルタ一般  (NC04021I) ,  音響信号処理  (BB03050C) ,  パターン認識  (JE07000S)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高感度 ,  ナノ加工 ,  トルクセンサ