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J-GLOBAL ID：201602241363725542   整理番号：16A0874246

非晶質,多結晶,及び粗面化処理したY-Cr-O膜のナノ摩擦挙動

Nanofrictional behavior of amorphous, polycrystalline and textured Y-Cr-O films

著者 (8件)： Gervacio-Arciniega J.J. (Centro de Nanociencias y Nanotecnologia (CNyN), Universidad Nacional Autonoma de Mexico (UNAM), km. 107, Carretera Tijuana-Ensenada, 22860 Ensenada, B.C., Mexico) ,  Flores-Ruiz F.J. (Centro de Nanociencias y Nanotecnologia (CNyN), Universidad Nacional Autonoma de Mexico (UNAM), km. 107, Carretera Tijuana-Ensenada, 22860 Ensenada, B.C., Mexico) ,  Diliegros-Godines C.J. (Centro de Nanociencias y Nanotecnologia (CNyN), Universidad Nacional Autonoma de Mexico (UNAM), km. 107, Carretera Tijuana-Ensenada, 22860 Ensenada, B.C., Mexico) ,  Broitman E. (Thin Film Physics Division, IFM, Linkoping University, SE-58183 Linkoping, Sweden) ,  Enriquez-Flores C.I. (CINVESTAV Unidad Queretaro, Lib. Norponiente 2000, Real de Juriquilla, 76230 Queretaro, Qro., Mexico) ,  Espinoza-Beltran F.J. (CINVESTAV Unidad Queretaro, Lib. Norponiente 2000, Real de Juriquilla, 76230 Queretaro, Qro., Mexico) ,  Siqueiros J. (Centro de Nanociencias y Nanotecnologia (CNyN), Universidad Nacional Autonoma de Mexico (UNAM), km. 107, Carretera Tijuana-Ensenada, 22860 Ensenada, B.C., Mexico) ,  Cruz M.P. (Centro de Nanociencias y Nanotecnologia (CNyN), Universidad Nacional Autonoma de Mexico (UNAM), km. 107, Carretera Tijuana-Ensenada, 22860 Ensenada, B.C., Mexico)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 378  ページ： 157-162  発行年： 2016年08月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 強誘電体YCrO₃,粗面化処理した多結晶薄膜,及び非強誘電性Y-Cr-O膜の摩擦係数(μ)の違いを解析した。摩擦係数は簡単な定量手順を用いて原子間力顕微鏡法により評価した。実験データを解析するためにMATLABを用いて簡単なコードを開発した。実験による動的情報から出発して,AFM片持梁の有限要素解析により試料表面に及ぼす負荷を定量化した。Pt(150nm)/TiO₂(30nm)/SiO₂/Si(100)基板上に蒸着した強誘電性YCrO₃膜は多結晶で,SrTiO₃(110)上に堆積させた膜よりも摩擦係数が小さかった。多結晶YCrO₃膜は摩擦係数が小さく,強誘電体メモリにおける工業応用の観点から最良の候補である。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 摩擦 ,  クロム酸塩 ,  イットリウム化合物 ,  *強誘電体 ,  多結晶 ,  薄膜 ,  *摩擦係数 ,  *誘電体薄膜 ,  FeRAM ,  原子間力顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  薄膜成長
準シソーラス用語： ナノ摩擦 ,  多結晶薄膜 ,  *強誘電体薄膜 ,  無鉛材料

著者キーワード (4件)： Friction ,  Ferroelectrics ,  AFM ,  Lead-free

分類 (1件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (6件)： 非晶質 ,  多結晶 ,  粗面化処理 ,  Cr ,  ナノ摩擦 ,  挙動