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J-GLOBAL ID：201602241429768756   整理番号：16A0615432

SOIウエハの非破壊キャラクタリゼーションのための走査型マイクロ波顕微鏡【Powered by NICT】

Scanning microwave microscopy for non-destructive characterization of SOI wafers

著者 (7件)： Michalas L. (Inst. for Microelectron. & Microsyst., Rome, Italy) ,  Ionica I. (IMEP-LAHC, Univ. de Grenoble Alpes, Grenoble, France) ,  Brinciotti E. (Keysight Technol. Austria GmbH, Linz, Austria) ,  Pirro L. (IMEP-LAHC, Univ. de Grenoble Alpes, Grenoble, France) ,  Kienberger F. (Keysight Technol. Austria GmbH, Linz, Austria) ,  Cristoloveanu S. (IMEP-LAHC, Univ. de Grenoble Alpes, Grenoble, France) ,  Marcelli R. (Inst. for Microelectron. & Microsyst., Rome, Italy)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： EUROSOI-ULIS  ページ： 238-241  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SOI技術のための非破壊高精度特性化ツールとして走査型マイクロ波顕微鏡(SMM)の可能性を明らかにすることを目的として実験的研究を提示した。不動態化及び不動態化していない最上部Si膜表面を持つ二つの同一のSOIウエハを評価した。示差マイクロ波測定は二試料の構造の違いを検出できることが分かった。結果は,適切なキャリブレーション法後,SMMは,SOI技術のためのnmスケール特性化を提供する強力なツールを提供するかもしれないという結論を支持する。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *マイクロ波 ,  *顕微鏡 ,  不動態化 ,  *キャラクタリゼーション ,  SOI構造 ,  マイクロ波測定 ,  *走査
準シソーラス用語： 実験研究 ,  高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： レーダ  (ND13010H)

タイトルに関連する用語 (4件)： SOI ,  ウエハ ,  キャラクタリゼーション ,  走査型マイクロ波顕微鏡