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J-GLOBAL ID：201602250601988851   整理番号：16A1280239

柔軟構造物に対する精密ステージの相対位置決め制御

著者 (4件)： 小川博紀 (日立) ,  小林幸徳 (北大 大学院工学研究院) ,  影山巧弦 (北大 大学院工学院) ,  江丸貴紀 (北大 大学院工学研究院)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2016  ページ： ROMBUNNO.S1610204  発行年： 2016年09月10日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 精密ステージを用いた位置決め装置の性能向上には,ステージと対象構造との相対的な位置決め精度が重要となる。本稿では,精密位置決めステージを用いた位置決め装置の本質的な性能向上を目的とし,ステージと位置決め対象となる柔軟構造物との間の相対位置決め精度向上のための相対変位推定オブザーバを提案し,その構築方法について述べる。また,提案したオブザーバの推定性能およびそれを用いた制御系の性能をシミュレーションにより評価し,装置性能に直結する相対変位量を抑制できることを示す。(著者抄録)

シソーラス用語： *位置決め装置 ,  *制御 ,  *構造物 ,  *精度 ,  *変位 ,  *システムオブザーバ ,  *シミュレーション ,  X-Yステージ ,  位置決め制御 ,  相対変位
準シソーラス用語： 位置決め精度 ,  オブザーバ【システム】

分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  研究開発  (IA01040H)

タイトルに関連する用語 (4件)： 構造物 ,  精密 ,  ステージ ,  位置決め制御