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J-GLOBAL ID：201602251001586161   整理番号：16A1004150

MEMSセンサを用いた2慣性共振系における負荷状態量推定と高速・高精度位置決めへの応用

著者 (3件)： 伊藤和晃 (豊田工高専) ,  渡辺康司 (名古屋工大) ,  岩崎誠 (名古屋工大)
資料名： 電気学会産業応用部門大会(CD-ROM)  (Proceedings of the IEE Japan Industry Applications Society Conference (CD-ROM))
巻： 2016  ページ： ROMBUNNO.2-S3-5  発行年： 2016年 
JST資料番号： L2177B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *センサ ,  *振動系 ,  慣性 ,  *状態変数 ,  精度 ,  位置決め ,  Kalmanフィルタ
準シソーラス用語： *MEMSセンサ ,  *共振系 ,  高精度 ,  *状態量

分類 (1件)： システム同定  (IA02040O)

タイトルに関連する用語 (6件)： MEMSセンサ ,  慣性 ,  共振系 ,  状態量 ,  推定 ,  応用