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J-GLOBAL ID：201602256616875529   整理番号：16A1406894

ウエハスキャナシステムへの応用による強化された運動性能のためのマルチレート反復学習制御【Powered by NICT】

Multirate iterative learning control for enhanced motion performance with application to wafer scanner systems

著者 (2件)： Sun Liting (Department of Mechanical Engineering, University of California, Berkeley, Berkeley, CA, 94720) ,  Tomizuka Masayoshi (Department of Mechanical Engineering, University of California, Berkeley, Berkeley, CA, 94720)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： ISFA  ページ： 469-476  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反復学習制御(ILC)は,同一タスクを実行する繰返しシステムにおけるサーボ改善のための効果的な制御技術である。学習プロセスにおいて,現在の反復から測定したトラッキング誤差は次の反復でのシステム性能を改善するための新しいフィードフォワード補償信号を生成する方法がとられている。離散時間実現のために,従来のILCはサンプル間学習能力なしでサンプリングされた出力点で誤差のみを考慮する。,達成可能な性能は,出力サンプリング速度により制限される。本論文では,マルチレートILC(MRILC)アプローチを提案した。マルチレートKalman平滑子とマルチレートフィードフォワード制御に基づいて,高速フィードフォワードILC入力がゆっくりとした出力サンプリング速度を持つマルチレート二自由度(2 DOF)制御システムにおけるILC更新則を導出した。学習ループの帯域幅は,その結果,増大したサンプル間学習のためのフィードバックループのそれを超えて拡張できる可能性がある。提案MRILCの有効性は,ウエハスキャナシステムの実験で検証した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 制御系 ,  フィードフォワード制御 ,  *学習 ,  フィードフォワード ,  高速度 ,  帯域幅 ,  自由度
準シソーラス用語： フィードバックループ ,  サンプリング速度 ,  学習能力 ,  システム性能 ,  学習過程 ,  制御技術 ,  *反復学習制御 ,  *マルチレート , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： AD・DA変換回路  (NC05080M)

タイトルに関連する用語 (5件)： 応用 ,  強化 ,  運動性能 ,  マルチレート ,  反復学習制御