文献

J-GLOBAL ID：201602256646595132   整理番号：16A0857038

複数回の高感度反射赤外透過分光法と単結晶シリコンの中間を正確に測定した酸素と代位Tanの含有量は【JST・京大機械翻訳】

Sensitive and Accurate Measurement of Interstitial Oxygen and Substitutional Carbon in Single Crystalline Silicon by Multiple Transmission-Reflection Infrared Spectroscopy (MTR-IR)

著者 (2件)： Lu Xiaobin (School of Chemistry and Chemical Engineering, Nanjing University) ,  Xiao Shoujun (School of Chemistry and Chemical Engineering, Nanjing University)
資料名： Wuji Huaxue Xuebao  (Wuji Huaxue Xuebao)
巻： 32  号： 2  ページ： 351-359  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2431A  ISSN： 1001-4861  CODEN： WHUXEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MTR-IRを代位Tan単結晶シリコンの中間と酸素含有量の測定には複数回透過反射赤外分光法(MTR-IR)を用い,室温下での新しい赤外スペクトル吸収方法を確立し,理論と実験で証明したルーチンを用いての単一垂直透射紅外(IR)吸収測定法より優れている。IR法と比較して,MTR-IR法の利点は次の通りであった。(1)間隙酸素は107CM(-1)1箇所と代位Tanで605CM(-1)での吸収ピークと赤外MTR-IR法におけるシリコンウエハの回数N(6~12)透過線形の増加の比例関係に比例する。従って単結晶シリコンの中間酸素と代位Tan含有量の検出はIR法より少なくとも1桁低かった;限界は(2)MTR-IR法のプロセシングパラメータの薄膜シリコンの0.2 MMの厚さのような測定時に発生する干渉縞の強度は,単回の垂直透過型赤外吸収法(IR)の1/23単回BREWSTER角透過型赤外吸収法の1/11でありである;(3)試料上の1つの点のみを計測する単回垂直透過型赤外吸収法(IR)を1回,MTR-IR則より長い試料上で1回のいくつかのサンプル点を測定し,1回の測定はより代表性を持つ。理論計算と実験結果はいずれも、代位Tan不純物と結晶シリコンの中間の酸素含有量を測定したMTR-IR吸収法の高感度と信頼性の再現性を確認した。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *酸素 ,  *透過 ,  再現性 ,  *ケイ素 ,  不純物 ,  線形性 ,  干渉縞 ,  赤外スペクトル ,  *高感度 ,  プロセスパラメータ
準シソーラス用語： *結晶シリコン ,  赤外吸収 ,  シリコンウエハ ,  酸素含有量 ,  *単結晶シリコン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： multiple transmission-reflection (MTR) ,  infrared Spectroscopy (IR) ,  interstitial oxygen ,  substitutional carbon

分類 (3件)： 酸化物系超伝導体の物性  (BM04023I) ,  物理的手法を用いた吸着の研究  (CB12043P) ,  有機化合物の赤外スペクトル及びRaman散乱,Ramanスペクトル  (BM08064T)

タイトルに関連する用語 (8件)： 複数回 ,  高感度 ,  赤外 ,  透過 ,  分光法 ,  単結晶シリコン ,  酸素 ,  含有量