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J-GLOBAL ID:201602259795075419   整理番号:16A1364598

パルスレーザ堆積によって調製した調整可能,低損失Ba0.6Sr0.4TiO3/Bi1.5Mg1.0Nb1.5O7/Ba0.6Sr0.4TiO3多層薄膜

Tunable, low loss Ba0.6Sr0.4TiO3/Bi1.5Mg1.0Nb1.5O7/Ba0.6Sr0.4TiO3 multilayer thin films prepared by pulsed laser deposition
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資料名:
巻: 27  号:ページ: 7947-7952  発行年: 2016年08月 
JST資料番号: W0003A  ISSN: 0957-4522  CODEN: JMTSAS  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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パルスレーザ堆積によって,Ba0.6Sr0.4TiO3/Bi1.5Mg1.0Nb1.5O7/Ba0.6Sr0.4TiO3(BST/BMN/BST)多層薄膜とBa0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜をPt/Ti/SiO2/Si(100)基板上に作製した。多層薄膜は,0.1MHzの周波数において314の誘電率及び0.006の誘電損失正接を示す。BST/BMN/BST多層薄膜は,357kV/cmの最大印加直流バイアス場において約26.7%の誘電率調整能力を持ち,性能指数は45.5であった。明らかなヒステリシス挙動は,BST/BMN/BST多層薄膜において観察されなかった。BST/BMN/BST多層薄膜は,その優れた誘電率と調整能力及び低い誘電損失正接から,調整可能なマイクロ波デバイスに応用できる大きな可能性を持つ。Copyright 2016 Springer Science+Business Media New York Translated from English into Japanese by JST.
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酸化物薄膜 
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