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J-GLOBAL ID：201602260478362778   整理番号：16A1155963

振動環境におけるMEMS加速度計の信頼性評価【JST・京大機械翻訳】

Reliability Evaluation of MEMS Accelerometer in Vibration Environment

著者 (5件)： Qin Li (Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory,North University of China) ,  Wang Mengmei (Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory,North University of China) ,  He Yuanze (School of Information and Communication Engineering,North University of China) ,  Yu Lixia (School of Information and Communication Engineering,North University of China) ,  Liu Jun (Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory,North University of China)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 29  号： 5  ページ： 670-674  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： MEMS加速度計の加速寿命試験と加速性能劣化試験の研究に基づき、振動加速環境におけるMEMS加速度計の信頼性技術について研究した。振動環境におけるMEMS加速度計の故障モードと故障メカニズムを理論的に解析し,加速度計の加速寿命試験と加速性能試験計画を設計した。振動加速環境におけるMEMS加速度計の故障データについて,加速寿命の信頼性評価と加速性能劣化の信頼性評価を行った。研究により、2種類の評価方法で得られた評価結果はほぼ一致していることが分かった。加速性能劣化評価方法はMEMS加速度計の振動環境における信頼性の研究に適用し、しかもこの方法は簡単、正確、実行コストを節約し、MEMS加速度計の実際の応用に重要な参考根拠を提供した。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *信頼性 ,  故障 ,  故障モード ,  *MEMS ,  加速性能 ,  *加速度計
準シソーラス用語： 評価方法 ,  性能劣化 ,  試験計画 ,  故障メカニズム ,  劣化試験 ,  加速劣化試験 ,  *信頼性評価 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： MEMS accelerometer ,  accelerated life test ,  accelerated degradation test ,  reliability assessment

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 環境 ,  MEMS ,  加速度計 ,  信頼性評価