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J-GLOBAL ID：201602262968564460   整理番号：16A1296774

磁歪-圧電層構造に基づく磁界SAWセンサ:FEMモデリングおよび実験検証

Magnetic field SAW sensors based on magnetostrictive-piezoelectric layered structures: FEM modeling and experimental validation

著者 (12件)： Elhosni Meriem (Institut Jean Lamour, UMR 7198, Universite de Lorraine-CNRS, Vandoeuvre les Nancy, France) ,  Elmazria Omar (Institut Jean Lamour, UMR 7198, Universite de Lorraine-CNRS, Vandoeuvre les Nancy, France) ,  Petit-Watelot Sebastien (Institut Jean Lamour, UMR 7198, Universite de Lorraine-CNRS, Vandoeuvre les Nancy, France) ,  Bouvot Laurent (Institut Jean Lamour, UMR 7198, Universite de Lorraine-CNRS, Vandoeuvre les Nancy, France) ,  Zhgoon Sergei (International Research University Moscow Power Engineering Institute, 14 Krasnokazarmennaja, 111250 Moscow, Russia) ,  Talbi Abdelkrim (International Associated Laboratory LEMAC/LICS-IEMN UMR CNRS 8520, ECLille-USTL, PRES Universite Lille Nord de France, Villeneuve d’Ascq, France) ,  Hehn Michel (Institut Jean Lamour, UMR 7198, Universite de Lorraine-CNRS, Vandoeuvre les Nancy, France) ,  Aissa Keltouma Ait (Institut Jean Lamour, UMR 7198, Universite de Lorraine-CNRS, Vandoeuvre les Nancy, France) ,  Hage-Ali Sami (Institut Jean Lamour, UMR 7198, Universite de Lorraine-CNRS, Vandoeuvre les Nancy, France) ,  Lacour Daniel (Institut Jean Lamour, UMR 7198, Universite de Lorraine-CNRS, Vandoeuvre les Nancy, France) ,  Sarry Frederic (Institut Jean Lamour, UMR 7198, Universite de Lorraine-CNRS, Vandoeuvre les Nancy, France) ,  Boumatar Olivier (International Associated Laboratory LEMAC/LICS-IEMN UMR CNRS 8520, ECLille-USTL, PRES Universite Lille Nord de France, Villeneuve d’Ascq, France)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 240  ページ： 41-49  発行年： 2016年04月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,外部磁界との磁歪相互作用を利用する表面弾性波(SAW)デバイスの感度を調べるために,正確なそして完全に結合した物理モデルの数値実行について述べる。はじめに本モデルは,先にKadota他により発表された水晶基板およびニッケルインターディジタル変換器(IDT)に基づくSAW共振子についての実験データを用いて検証した。次に本モデルは,磁界強度に対する感度に関連して,新しい磁歪-圧電層構造(Ni/ZnO/IDT/LiNbO₃)の幾何形状を最適化するために使われた。最適化構造が設計・製作され,実験結果は数値モデリングとよい相関を示している。シミュレーションもまた,ZnOの代わりにアルミナが使われたとして,Ni/Al₂O₃/IDT/LiNbO₃構造は,ZnOベースのものより9倍高い感度を呈していることを示す。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *磁歪 ,  *圧電気 ,  *構造 ,  *磁場 ,  *センサ ,  弾性表面波素子 ,  *有限要素法 ,  *モデリング ,  *検証 ,  感度 ,  モデル ,  信号変換器 ,  基板 ,  ニッケル ,  界磁 ,  強度 ,  形状最適化
準シソーラス用語： *層構造 ,  *SAWセンサ ,  *実験検証 ,  物理モデル ,  IDT ,  水晶基板 ,  磁界強度

著者キーワード (4件)： SAW ,  Magnetic field sensor ,  Wireless ,  FEM modeling

分類 (1件)： 波形,周波数,波長,位相の計測法・機器  (AD07040Y)

タイトルに関連する用語 (8件)： 磁歪 ,  圧電 ,  層構造 ,  磁界 ,  SAWセンサ ,  FEM ,  モデリング ,  実験検証