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J-GLOBAL ID：201602265015156782   整理番号：16A0594471

高度化する精密位置決め技術の最新動向と設計への応用 PART1 超精密位置決め技術の最新動向と設計のポイント 解説5 精密位置決めにおける多軸センサの活用

著者 (3件)： 伊東聡 (東北大 大学院工学研究科) ,  清水裕樹 (東北大 大学院工学研究科) ,  高偉 (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 機械設計  (Machine Design)
巻： 60  号： 11  ページ： 40-45  発行年： 2016年08月01日 
JST資料番号： G0863A  ISSN： 0387-1045  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超精密位置決めシステムに広く用いられる位置決めセンサの代表として回折干渉型リニアエンコーダおよびレーザ干渉測長機について基礎と特徴および応用技術について述べた。また最新の超精密位置決めセンサとして多軸検出型のサーフェスエンコーダと3軸角度センサについて最新研究を示した。位置決めシステムの高精度化に伴って位置決めセンサへの要求も高まり,多軸型センサの活用による精密計測の開発は重要である。

シソーラス用語： *位置決め装置 ,  *測長機 ,  センサ ,  位置センサ ,  レーザ干渉計 ,  符号器 ,  *精密測定 ,  回折
準シソーラス用語： 角度センサ ,  リニアエンコーダ ,  エンコーダ ,  精密計測

分類 (1件)： 運動機構  (QB01080K)

タイトルに関連する用語 (8件)： 高度化 ,  精密位置決め ,  最新動向 ,  設計 ,  応用 ,  ポイント ,  多軸 ,  活用