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J-GLOBAL ID：201602266795541924   整理番号：16A0821988

ZRN/TISINナノ多層膜の微細構造と機械的性能の研究【JST・京大機械翻訳】

Study on microstructure and mechanical properties of ZrN/TiSiN nanomultilayered films

著者 (8件)： Zheng Wei (School of Mechanical Engineering, University of Shanghai for Science and Technology) ,  Li Wei (School of Materials Science and Engineering, University of Shanghai for Science and Technology; The Chinese Academy of Sciences Key Laboratory of Inorganic Coating) ,  Meng Jia (The Chinese Academy of Sciences Key Laboratory of Inorganic Coating) ,  Liu Ping (School of Materials Science and Engineering, University of Shanghai for Science and Technology) ,  Ma Fengcang (School of Materials Science and Engineering, University of Shanghai for Science and Technology) ,  Liu Xinkuan (School of Materials Science and Engineering, University of Shanghai for Science and Technology) ,  Chen Xiaohong (School of Materials Science and Engineering, University of Shanghai for Science and Technology) ,  He Daihua (School of Materials Science and Engineering, University of Shanghai for Science and Technology)
資料名： Gongneng Cailiao  (Gongneng Cailiao)
巻： 47  号： 1  ページ： 1038-1042  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2095A  ISSN： 1001-9731  CODEN： GOCAEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 反応性マグネトロンスパッタリングの方法を用いて,利用ZRターゲットTISI複合ターゲットとして超硬層厚さの異なるZRN/TISINナノ多層膜を作製することに成功した。X線回折(XRD)、高分解能透過型電子顕微鏡(HRTEM)を利用し、走査電子顕微鏡(SEM)とナノインデンテーションZRN/TISINナノ超硬層厚さの異なる多層膜の微細構造と機械的性質の影響を研究した。結果は,ZRN/TISIN多層ナノ膜は,主に面心立方ZRN相から成り,超硬層の厚さの増加に伴い,ナノ多層膜の結晶化度は最初に増加した後に低下しても,その硬度と弾性係数は最初に上昇した後減少することを示した。,ZRN単層膜を越える超硬層の厚さが0.7NMであるとき,ナノ多層膜は最も高い硬度と弾性率は,それぞれ28.7と301.1 GPAを持つはるかに。ZRN/TISINナノ多層膜の強化効果は交互応力場と差異の理論により解釈を行うことができる。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 結晶度 ,  硬度 ,  走査電子顕微鏡 ,  応力場 ,  *多層 ,  ナノインデンテーション ,  X線回折 ,  *多層膜 ,  *微細構造 ,  ナノシート
準シソーラス用語： 単層膜 ,  ナノ薄膜 ,  HRTEM ,  反応性マグネトロンスパッタリング ,  *機械的性能 ,  *ナノ多層膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ZrN/TiSiN nanomultilayered film ,  microstructure ,  mechanical properties ,  coherent epitaxial growth

分類 (3件)： 無機化合物のルミネセンス  (BM08093J) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノ多層膜 ,  微細構造 ,  機械的性能 ,  研究