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J-GLOBAL ID:201602272211945657   整理番号:16A1104740

イオンを用いた付着粒子低減技術「イオン・ドロップ」

著者 (1件):
資料名:
巻: 36  号:ページ: 16-20  発行年: 2016年10月11日 
JST資料番号: L1004A  ISSN: 1880-3792  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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本稿では,付着粒子低減技術である「イオン・ドロップ」の概要解説を行い,付着粒子低減効果に関する実験結果を示した。付着粒子の除去について具体的な方法を述べた。イオンドロップシステムの概要を示し,そのシステム構成,それが持つ効果について論じた。付着粒子除去効果を確認するための実験を行った。実験室の概要を示し,静電気除去性能の確認,付着量評価方法について論じた。実験結果に関しては,静電気除去性能,付着量評価を具体的に示した。
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分類 (1件):
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計測機器一般 
引用文献 (2件):
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