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J-GLOBAL ID：201602276855706783   整理番号：16A0964327

空間光変調器としてのフェムト秒加工方法の研究が並列に基づく【JST・京大機械翻訳】

Parallel processing with femtosecond laser using spatial light modulator

著者 (8件)： Hu Yongtao (School of Mechanical Engineering,Hubei University of Technology) ,  Zhai Zhongsheng (School of Mechanical Engineering,Hubei University of Technology) ,  Lyu Qinghua (School of Science,Hubei University of Technology) ,  Chen Lie (School of Mechanical Engineering,Hubei University of Technology) ,  Lou Deyuan (School of Mechanical Engineering,Hubei University of Technology) ,  Yang Qibiao (School of Mechanical Engineering,Hubei University of Technology) ,  Peter Bennett (School of Mechanical Engineering,Hubei University of Technology) ,  Liu Dun (School of Mechanical Engineering,Hubei University of Technology)
資料名： Yingyong Guangxue  (Yingyong Guangxue)
巻： 37  号： 2  ページ： 315-320  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2741A  ISSN： 1002-2082  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザマイクロマシニングにおける加工効率とエネルギー利用率が低いという問題に対して,1つの空間光変調器としてのフェムト秒並列に基づく加工方法を提案した。回折格子入射議論と入射角回折角の関係の基礎の上で,マルチビームを発生するいくつかの回折格子の重ね合わせ原理を解析し,目標多ビームに対して最適化を行い,対応する位相ホログラムを計算するでは,GSアルゴリズムを用いて,このホログラムを空間光変調器に負荷し,マルチビームを得た。パルス幅100FS,波長800NMのフェムト秒レーザ,焦点PMMA試料内部の並列加工実験を行い,PMMA上多点組合せ観察の「1」と「工」の字型を採用し,ビームエネルギーの均一性の図形を得た。実験結果は、この方法をマルチビームに対して並行して加工制御の有効性を論証した。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 波長 ,  入射角 ,  フェムト秒レーザ ,  重合せ ,  *空間光変調素子 ,  ホログラム ,  ポリメタクリル酸メチル ,  最適化 ,  *フェムト秒 ,  パルス幅 ,  回折格子 ,  位相ホログラム
準シソーラス用語： エネルギー利用 ,  加工効率 ,  レーザーマイクロマシニング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： laser machining ,  parallel processing ,  spatial light modulator ,  GS algorithm ,  multi-beam

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (3件)： 空間光変調器 ,  フェムト秒 ,  研究