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文献
J-GLOBAL ID:201602277579038429   整理番号:16A0566860

圧電ダイアフラム型超音波マイクロセンサ用PZT薄膜のゾル・ゲル仮焼成温度に対する残留応力評価

Residual stress of sol-gel derived PZT films pyrolized at various temperature for highly sensitive diaphragm structures of ultrasonic microsensors
著者 (5件):
資料名:
巻: PHS-16  号: 13-17  ページ: 25-30  発行年: 2016年06月30日 
JST資料番号: L2897B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (3件):
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音響測定  ,  圧電デバイス  ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器 

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