空気結合応用のための環状セル幾何学に基づくCMUTアレイ【Powered by NICT】

Shuai Na; Wong Lawrence L.P.; Chen Albert I.H.; Li Zhenhao; Macecek Mirek; Yeow John T.W.

文献

J-GLOBAL ID：201602283131321167 整理番号：16A1210840

空気結合応用のための環状セル幾何学に基づくCMUTアレイ【Powered by NICT】

A CMUT array based on annular cell geometry for air-coupled applications

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資料名：
巻： 2016 号： IUS ページ： 1-4 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

空気結合CMUTsのための従来の円形細胞よりも改善された送信感度で報告されている環状セル。環状細胞の特殊な形状は,それらのマルチを可能にする高強度超音波は深さ方向に集中できるように同心レイアウトに配置することができた。は四個の同心環状細胞からなる9mm直径CMUTアレイを提示した。ウエハ接着CMUTは板厚18.3μm,セル幅930μmであった。大気圧下で,環状細胞の平均と最大変位(RAMD)の比は,プロフィルメータを用いて0.53であると測定された。200V DCバイアスとVpp AC作動電圧において,最大変位の周波数応答をレーザDoppler振動計を用いて測定し,182.5kHzの共振周波数が観察された。同じDCバイアスでは,アレイの共鳴周波数は,ベクトルネットワークアナライザを用いた182.5kHzと測定された。周波数応答に基づいて,CMUTアレイの音響場を 3dBビーム幅3.14mmの,11.4mm自然焦点深さを持つためにシミュレートされた。本研究では,空気中に集束した超音波を発生させる同心環状セルCMUTアレイを使用することの可能性を実証した。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

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音声処理 , 医用画像処理 , 音響信号処理

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