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J-GLOBAL ID:201602283172731914   整理番号:16A0841624

(111)優先指向PbZr0.53Ti0.47O3/Pb(Mg1/3Nb2/3)0.62Ti0.38O3/PbZr0.53Ti0.47O33層膜の誘電体と強誘電体特性

Dielectric and ferroelectric properties of (111) preferred oriented PbZr0.53Ti0.47O3/Pb(Mg1/3Nb2/3)0.62Ti0.38O3/PbZr0.53Ti0.47O3 trilayered films
著者 (7件):
資料名:
巻: 371  ページ: 160-163  発行年: 2016年05月15日 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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高度(111)優先指向PbZr0.53Ti0.47O3/Pb(Mg1/3Nb2/3)0.62Ti0.38O3/PbZr0.53Ti0.47O3(PZT/PMNT/PZT)3層強誘電体薄膜を(111)Pt/Ti/SiO2/Si基板上に準備した。室温で,膜は2175の誘電率と0.05の誘電損を持っていて,102と105Hzの間で周波数を増やすと誘電率は1870へ減少し誘電損は0.06まで増加した。また,13.4μC/cm2の大きな残留分極と,30kV/cmの低い保磁力場の優れた飽和分極化対電場ヒステリシスループを示した。3層膜の漏洩電流密度は,4.1×10-10A/cm2であり,これは1と140kV/cmの間で電場を増やすことで,4.0×10-7A/cm2まで増加した。(111)優先配向PZT/PMNT/PZT3層膜のこのような特性は,自然に強誘電性コンデンサとメモリーの可能性となる。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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誘電体一般 
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