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J-GLOBAL ID：201602283236598966 整理番号：16A0977945

不揮発性プログラマブル論理のための°上の40C熱耐性高分子-固体電解質(TT-PSE)を用いたロバストなCu原子スイッチ【Powered by NICT】

Robust Cu atom switch with over-400°C thermally tolerant polymer-solid electrolyte (TT-PSE) for nonvolatile programmable logic

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著者 (12件)： , , , , , , , , , , ,
資料名：
巻： 2016 号： VLSI Technology ページ： 1-2 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

完全400°C加工,標準Cu-BEOL互換性,ロバストCu原子スイッチは,C°以上,400高熱耐性高分子-固体電解質(TT-PSE)を開発した。PSEにおける弱い化学結合を持つことを炭化水素が選択的にTT PSEで除去され,高い熱安定性をもたらした。TT PSEも脆弱炭化水素結合の除去による低いセット電圧(2V)を維持しながら高い絶縁破壊電圧(+1V)を与えた。1000サイクルの-65~150°Cの温度範囲で熱サイクルストレス後のデータ保持特性を初めて確認した。開発した原子スイッチは,高温での将来のロボット/自動車用の信頼性のある再プログラム可能な論理の技術イネイブラーであることである。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

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