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J-GLOBAL ID:201602283390675199   整理番号:16A1081247

炭素系基板上への窒化タンタル薄膜の作製と光電気化学的水分解特性

著者 (6件):
資料名:
巻: 118th  ページ: 26  発行年: 2016年09月14日 
JST資料番号: S0874A  ISSN: 1343-9936  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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高温での窒化処理に耐える導電性基板であるカーボンペーパー(CP)上にTa薄膜をスパッタリング法により製膜し,これを窒化することで窒化タンタル(Ta3N5)光アノードを作製した。CPを疎水化して用いると窒化中にTa3N5層の剥離が起こりやすく,光電流値が低下した。CPを親水化処理してから用いることで,CPとTa3N5の剥離が起こりにくくなり,光電流値が向上した。(著者抄録)
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
電気化学反応  ,  触媒の調製 

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