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J-GLOBAL ID:201602286987999421   整理番号:16A0741396

(11-20)Al2O3基板上の高In量In0.41Ga0.59N/GaNヘテロ構造のエピタキシャル成長

Epitaxial growth of high In-content In0.41Ga0.59N/GaN heterostructure on (11-20) Al2O3 substrate
著者 (14件):
資料名:
巻: 658  ページ: 470-475  発行年: 2016年02月15日 
JST資料番号: D0083A  ISSN: 0925-8388  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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a面(11-20)サファイア基板上でのプラズマ支援分子線エピタキシーによる高インジウム量InGaN/GaNヘテロ構造の成長特性を詳細に調べた。構造解析を高分解能X線回折測定で実施している。0.15%の格子定数の低下が成長したGaN膜の高度な結晶特性を確認している。電界放出型走査型電子顕微鏡観察測定が,僅かな六角形孔食があるGaN表面の平滑な形態を明らかにした。(11-20)サファイア上の高品質にMBE成長したGaNを,高いインジウム組成(41%)を有するInGaN膜を成長させるためのテンプレートとして適用している。成長した膜の元素分布と厚みを二次イオン質量分析法によって調べ,成長構造間の鋭い界面を示している。光ルミネセンス発光スペクトルが,室温において,欠陥に関連する広帯域発光を伴う3.42eVでのGaNの鋭いバンド端近傍発光とInGaN(1.9±0.05eV)のバンド端近傍発光を示している。この調査は,a面サファイア上の構造的に高品質なIn富裕InGaN/GaNベースヘテロ構造への新しい視点を提供し,これは高効率窒化物太陽電池デバイスを開発するのに有用であろう。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
分類
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その他の無機化合物の薄膜  ,  無機化合物のルミネセンス 
タイトルに関連する用語 (4件):
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