文献

J-GLOBAL ID：201602290683754031   整理番号：16A0797915

多層Laueレンズに基づくSSRFでのX線ナノ集束【Powered by NICT】

X-ray nanometer focusing at the SSRF based on a multilayer Laue lens

著者 (7件)： Zhu Jingtao (School of Physics Science and Engineering, Tongji University) ,  Tu Yuchun (School of Physics Science and Engineering, Tongji University) ,  Li Haochuan (School of Physics Science and Engineering, Tongji University) ,  Yue Shuaipeng (School of Physics Science and Engineering, Tongji University) ,  Huang Qiushi (School of Physics Science and Engineering, Tongji University) ,  Li Aiguo (Shanghai Synchrotron Radiation Facility, Shanghai Institute of Applied Physics, Chinese Academy of Science) ,  Wang Zhanshan (School of Physics Science and Engineering, Tongji University)
資料名： Chinese Physics C  (Chinese Physics C)
巻： 39  号： 12  ページ： 128001-1-128001-3  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2118A  ISSN： 1674-1137  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 硬X線集束素子としての多層Laueレンズ(MLL)を設計し,作製した。WSi_2/Si多層膜は,それらの優れた光学的性質と比較的鋭い界面のために選択した。多層試料は直流(DC)マグネトロンスパッタリング技術を用いて作製した,MLLを形成するスライスと薄くなった。各層の厚さはマーキング層を用いた走査電子顕微鏡(SEM)画像解析により測定した。MLLの集束特性は,ビームライン15U,上海シンクロトロン施設(SSRF)で測定した。92nmの一次元(1D)電気泳動分解能は14keVの光子エネルギーで得られた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  *集束 ,  直流 ,  *X線 ,  画像分析 ,  多層膜 ,  一次元 ,  マグネトロンスパッタリング ,  ビームライン ,  *多層 ,  硬X線 ,  界面 ,  分解能
準シソーラス用語： *Laueレンズ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 硬X線 ,  ナノ集束 ,  多層Laueレンズ(MLL) ,  シンクロトロン放射

分類 (2件)： X線技術  (BA02060D) ,  光学器械要素とその材料  (QF05020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 多層 ,  Laueレンズ ,  X線 ,  ナノ集束