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J-GLOBAL ID：201602290859929037   整理番号：16A0798598

光検出器への応用のためのMoS_2膜の普遍的エッチング自由移動【Powered by NICT】

A universal etching-free transfer of MoS_2 films for applications in photodetectors

著者 (14件)： Ma Donglin (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University) ,  Shi Jianping (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University) ,  Ji Qingqing (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University) ,  Chen Ke (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University) ,  Yin Jianbo (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University) ,  Lin Yuanwei (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University) ,  Zhang Yu (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University) ,  Liu Mengxi (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University) ,  Feng Qingliang (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University) ,  Song Xiuju (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University) ,  Guo Xuefeng (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University) ,  Zhang Jin (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University) ,  Zhang Yanfeng (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University) ,  Liu Zhongfan (Department of Physical Chemistry, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University)
資料名： Nami Yanjiu  (Nami Yanjiu)
巻： 8  号： 11  ページ： 3662-3672  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2652A  ISSN： 1998-0124  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ターゲット基板上に成長基板からMoS_2膜の移動それらの実際的応用のための重要な問題である。さらに,試料分解と基板破壊を避けるために大きな課題となっている,電流伝達法を湿式化学エッチングプロセスを採用している必然的である。超音波処理を用いて任意の基板上へのMoS_2膜を移送するためのエッチングフリー移動法を開発した。ポリマ被覆MoS_2膜と基板との間の界面での超音波処理ジェネレイテッド(one-generated)マイクロバブルの崩壊は十分な力を誘導するMoS_2膜を剥離した。この方法を用いて,MoS_2膜は全ての基板(シリカ,マイカ,チタン酸ストロンチウム,サファイア)から移動し,元の試料形態と品質を保持した。この方法は簡単な移動プロセスを保証し,増殖基質の再利用を可能にし,の有害なエッチング剤を含まない。エッチング自由移動方法である光検出器におけるMoS_2の広範な応用を促進すると考えられる。Data from the ScienceChina, LCAS.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 超音波 ,  雲母 ,  基質 ,  界面 ,  チタン酸ストロンチウム ,  再利用 ,  *光検出器 ,  サファイア ,  エッチング液 ,  二酸化ケイ素 ,  *エッチング
準シソーラス用語： 微小気泡 ,  ソニケーション ,  化学エッチング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： MoS_2エッチングフリー ,  効率的な移動 ,  超音波気泡 ,  環境への優しさ

分類 (5件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  界面化学一般  (CB12010J) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  電気化学反応  (CB07050F) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (3件)： 光検出器 ,  応用 ,  エッチング