微細パターニング用表面化学処理装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：鹿島義雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-500038
特許番号：特許第5956053号
出願日： 2013年02月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】気相もくしは液相中に置かれた固相の表面に、所要パターンの化学的処理を施すための装置であって、一端が開口し、他端が上記固相表面と反応して当該表面を化学処理するためのパターニング溶液を供給する液供給手段に連通する第1の管路と、上記第1の管路に向けてシース液を供給することにより、当該第1の管路中でシースフローを形成して上記パターニング溶液を中央に収束させるためのシース液供給用管路と、上記第1の管路の開口の周りを囲むように一端が開口し、他端が液吸引手段に連通する第2の管路と、これらの第1と第2の管路の開口を上記気相もしくは液相中で上記固相の表面に対向させた状態で、当該各開口と固相とを相対的に移動させる移動機構を備え、上記液供給手段から上記第1の管路内に上記パターニング溶液を供給するとともに、上記シース液供給用管路から上記シース液を供給することにより上記パターニング溶液を中央に収束させて当該第1の管路の開口から吐出させつつ、上記液吸引手段の駆動により上記第2の管路の開口を通じて上記第1の管路の開口から吐出したパターニング溶液を上記気相もしくは液相とともに吸引しながら、上記第1と第2の管路の開口と上記固相とを相対移動させて所要パターンの化学的処理領域を形成することを特徴とする微細パターニング用表面化学処理装置。

IPC (3件)：

B05C 5/02 ( 200 6.01) , B05B 15/04 ( 200 6.01) , B01J 19/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B05C 5/02 , B05B 15/04 , B01J 19/00 D , B01J 19/00 321

引用特許：

出願人引用 (7件)

金属微粒子の噴射ノズル
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-017618 出願人：株式会社日本マイクロニクス
真空塗装方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-225885 出願人：株式会社日電鉄工所
特開平3-151070

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