特許
J-GLOBAL ID：201603015549949981
イメージング装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
豊田 義元
, 渡部 比呂志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-277921
公開番号（公開出願番号）：特開2013-130397
特許番号：特許第5979774号
出願日： 2011年12月20日
公開日（公表日）： 2013年07月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光源から出力されるビームを光学的に処理し処理後のビームを出力する光軸位置補正装置と、
前記光軸位置補正装置から出力されるビームにより得られる光を検体に照射する手段と、
前記検体を経た光により画像を生成する手段と
を備え、
前記光軸位置補正装置は、
前記光源から出力されるビームを反射させる第1ミラーと、
前記第1ミラーで反射したビームの一部を反射し一部を通過させる第1ビームスプリッ
タと、
前記第1ビームスプリッタを通過したビームの光軸の位置を検出する第1検出器と、
前記第1ビームスプリッタで反射したビームを反射させる第2ミラーと、
前記第2ミラーで反射したビームの一部を反射し一部を通過させる第2ビームスプリッ
タと、
前記第2ビームスプリッタを通過したビームの光軸の位置を検出する第2検出器と、
前記第1、第2検出器で検出されるビームの位置が予め定められた位置に一致するように前記第1、第2ミラーの向きをサンプリング周波数以上の速さで制御するフィードバック回路と
を備え、
前記光軸位置補正装置は、
前記第2ビームスプリッタで反射したビームを出力するようになっており、
前記第1、第2検出器で検出されるビームの位置が予め定められた位置になった場合には、前記第2ビームスプリッタで反射したビームの光軸の位置が予め定められた位置に一致するように構成され、
前記光源から前記第1検出器での距離より前記光源から前記第2検出器までの距離の方が長く、前記第1検出器で検出されるビームの位置の調整を先に行い、前記第2検出器で検出されるビームの位置の調整を後に行う
ことを特徴とするテラヘルツ波のイメージング装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
