特許
J-GLOBAL ID:201603017469242260
LTGA、LTGAの製造方法、LTGAを用いた圧電素子もしくはセンサ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (3件):
大野 聖二
, 森田 耕司
, 片山 健一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-052047
公開番号(公開出願番号):特開2016-172648
出願日: 2015年03月16日
公開日(公表日): 2016年09月29日
要約:
【課題】ランガテイトのGaを一部Alに置換したLTGA(La3Ta0.5Ga5.5-xAlxO14)の製造方法であって、従来品に比較して純度の高いLTGA焼成体を製造する技術の提供。【解決手段】硝酸ランタン水和物であるLa(NO3)3・6H2O、硝酸アルミニウム水和物であるAl(NO3)3・9H2O、タンタル酸化物であるTa2O5、還元剤としての親水性有機化合物であるGlycine、及び、ガリウム酸化物Ga2O3を秤量(S101〜102)、各原料を蒸留水中に溶解させて撹拌混合し混合物調整を行い(S105)、所定の温度で加熱して溶液燃焼合成し(S107)、前記焼成物を、例えば、空気中で、1400°C程度の温度で10時間程度の熱処理を施す(S109)、熱処理により、従来品に比較して純度の高いLTGA焼成体を得られる(S110)LTGA焼結体の製造方法。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ランガテイト(LTG:La3Ta0.5Ga5.5O14)のGaを一部Alに置換したLTGA(La3Ta0.5Ga5.5-xAlxO14)の製造方法であって、下記のプロセスを備えていることを特徴とするLTGAの製造方法。
La、Ta、Ga、Alを含有し、合成するLTGAが所望の化学量論的組成となるように秤量された混合物を調整する工程A:
前記混合物を含む原料を第1温度で加熱して溶液燃焼合成して焼成物を得る工程B:
前記焼成物を前記第1温度よりも高い第2温度で熱処理する工程C。
IPC (4件):
C01G 35/00
, H01L 41/187
, H01L 41/39
, H01L 41/41
FI (4件):
C01G35/00 C
, H01L41/187
, H01L41/39
, H01L41/41
Fターム (8件):
4G048AA03
, 4G048AB02
, 4G048AC01
, 4G048AC02
, 4G048AD03
, 4G048AE05
, 4G048AE07
, 4G048AE08
引用特許: