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J-GLOBAL ID：201702210557998761   整理番号：17A0417566

300zg質量分解能を用いたNEMSアレイ重量センシング応用を標的とする15.6A同時デュアルモードヘテロダイン振動子XXXへ80MHz【Powered by NICT】

15.6 A 30-to-80MHz simultaneous dual-mode heterodyne oscillator targeting NEMS array gravimetric sensing applications with a 300zg mass resolution

著者 (8件)： Gourlat Guillaume (CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France) ,  Sansa Marc (CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France) ,  Villard Patrick (CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France) ,  Sicard Gilles (CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France) ,  Jourdan Guillaume (CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France) ,  Ouerghi Issam (CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France) ,  Billiot Gerard (CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France) ,  Hentz Sebastien (CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ISSCC  ページ： 266-267  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子スケール物理的変動へのナノ電気機械システム(NEMS)の極端な感度は単一分子を測定できるNEMSベース質量分析システムのブレークスルー開発が進められてきた[1]。千素子を用いた並列センシングは小さな有効センシング面積を回避する助けとなるであろう空間マッピングを必要とする応用のために新しい展望を開く。NEMS CMOS共積分技術[2]の開発は,高密度センサアレイ(>1000デバイス)を達成するために最も重要であるが,NEMS共振器周波数シフトを追跡できる読出し回路は個々にセンサの超大規模集積回路のための制限因子である。さらに,吸着した分析物の質量と位置を解決するために,単一粒子質量センシング応用は共振器の少なくとも二モードで同時に,リアルタイムで追跡する必要がある。この要求は,システム全体の設計に複雑さを加えた。NEMSアレイ測定に関連したサイズ,電力消費および分解能制約に対処するために,著者らは「ピクセルベース」読出し方式と互換性のある1ms同時デュアルモード周波数追跡を行うコンパクトなヘテロダイン自励発振器アナログフロントエンドICを提案した。26000μm~2サイズ300zg質量分解能を備えた1mA,より少ない電力消費を報告した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 互換性 ,  センサアレイ ,  *分解能 ,  制約条件 ,  積分 ,  超LSI ,  電力消費 ,  周波数シフト ,  CMOS
準シソーラス用語： アナログフロントエンド ,  *デュアルモード ,  読出回路 ,  単一分子 ,  *NEMS ,  *質量分解能 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 質量分解能 ,  NEMS ,  アレイ ,  センシング ,  応用 ,  標的 ,  振動子