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J-GLOBAL ID：201702210573385473   整理番号：17A0660616

大量生産のミクロインプリント・リソグラフィーにおける鋳型損傷とガス捕獲の低減のためのガス透過性セルローステンプレート【Powered by NICT】

Gas-Permeable Cellulose Template for Reduction of Template Damage and Gas Trapping in Microimprint Lithography of High Volume Manufacturing

著者 (6件)： Takei Satoshi (Eco-material Engineering, Toyama Prefectural University, Imizu, Toyama, 939-0398, Japan) ,  Nakajima Shinya (Eco-material Engineering, Toyama Prefectural University, Imizu, Toyama, 939-0398, Japan) ,  Sugahara Kigen (Eco-material Engineering, Toyama Prefectural University, Imizu, Toyama, 939-0398, Japan) ,  Hanabata Makoto (Eco-material Engineering, Toyama Prefectural University, Imizu, Toyama, 939-0398, Japan) ,  Matsumoto Yoko (Litho Tech Japan Corporation, Saitama, 332-0034, Japan) ,  Sekiguchi Atsushi (Litho Tech Japan Corporation, Saitama, 332-0034, Japan)
資料名： Macromolecular Materials and Engineering  (Macromolecular Materials and Engineering)
巻： 301  号： 8  ページ： 902-906  発行年： 2016年 
JST資料番号： D0557A  ISSN： 1438-7492  CODEN： MMENFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロインプリントリソグラフィーのためのガス透過性セルローステンプレートは架橋材料から生成した溶媒と酸素による鋳型損傷とガス捕獲の減少のための合成,特性化した。揮発性溶媒として4.7wt%アセトンでmicroimprinted UV架橋液体材料の5μmラインパターン破壊はその増加した酸素透過性のためにガス透過性セルロース鋳型を用いて解いた。ガス透過性セルローステンプレートもモールド樹脂注入時の通常用いられている化合物と塑性樹脂の代わりにmicroimprinted材料への高被覆特性と溶解度と揮発性溶媒の使用を可能にする。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 塑性 ,  *透気性 ,  *大量生産 ,  被覆 ,  酸素 ,  *セルロース ,  *リソグラフィー ,  溶解度 ,  キャラクタリゼーション ,  レジンインジェクション ,  *捕獲 ,  揮発性
準シソーラス用語： インプリントリソグラフィー ,  酸素透過性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： セルロース ,  気体透過性 ,  インプリントリソグラフィー ,  金型 ,  テンプレート

分類 (1件)： 多糖類  (CF10054P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 鋳型 ,  損傷 ,  捕獲 ,  ガス透過性 ,  セルロース ,  テンプレート