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J-GLOBAL ID：201702211794594122   整理番号：17A0170410

シリコンV溝の表面トポグラフィーのOCT可視化測定【JST・京大機械翻訳】

Visualization measurement for the surface topology of silicon V-groove using optical coherence tomography (OCT)

著者 (1件)： Qin Yuwei (School of Physics and Electrical Engineering, Weinan Normal University)
資料名： Guangxue Jishu  (Guangxue Jishu)
巻： 42  号： 6  ページ： 534-537  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2089A  ISSN： 1002-1582  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： シリコンV溝の表面形態測定の可視化方法を紹介し、スペクトル領域OCTの測定原理を分析した。シリコンV溝の画像化実験を,スペクトル OCT実験システムによって行い,そして,シリコンV溝の次元画像を,得た。二次元トモグラフィー画像を分析することによって,シリコンV溝の構造寸法を得て,シリコンV溝の表面形態の高精度可視化測定を実現した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 二次元 ,  *可視化 ,  *ケイ素 ,  断層画像 ,  スペクトル ,  画像 ,  高精度 ,  画像化 ,  表面形態 ,  *表面トポグラフィー ,  *V溝

著者キーワード (5件)： optical coherence tomography ,  V-groove ,  surface topography ,  spectral-domain ,  visualization

分類 (3件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  光通信方式・機器  (ND10000B) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン ,  V溝 ,  表面トポグラフィー ,  OCT ,  可視化