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J-GLOBAL ID：201702212562477160   整理番号：17A0404129

UVレーザ/RTAアニールしたAlドープZnO薄膜の増大したコンダクタンス特性【Powered by NICT】

Enhanced conductance properties of UV laser/RTA annealed Al-doped ZnO thin films

著者 (8件)： Kim Jinhwan (School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang University, Seoul 156-756, Republic of Korea) ,  Ji Jae-Hoon (School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang University, Seoul 156-756, Republic of Korea) ,  Min Sung-Wook (Hardram, Gyeonggi-do 156-58, Republic of Korea) ,  Jo Gae-Hun (School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang University, Seoul 156-756, Republic of Korea) ,  Jung Min-Woo (School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang University, Seoul 156-756, Republic of Korea) ,  Park Min-Jae (School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang University, Seoul 156-756, Republic of Korea) ,  Lee Sang-Kwon (Department of Physics, Chung-Ang University, Seoul 156-756, Republic of Korea) ,  Koh Jung-Hyuk (School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang University, Seoul 156-756, Republic of Korea)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 43  号： 4  ページ： 3900-3904  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 0.5mo1%アルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)から成る薄膜を透明導電性酸化物(TCO)応用のためのスピンコーティング法によりガラス基板上に作製した。UVレーザはAZO薄膜のアニーリングのために選択された,UVレーザとAZO膜の間で良く整合しエネルギーバンドギャップによるものであった。急速熱アニーリング(RTA)プロセス後,後UVレーザアニーリングは,レーザビームの走査速度を変化させて行い,構造的,形態学的,電気的,および光学的性質に及ぼすレーザアニーリングの影響を調べた。結果は,種々の走査速度に基づくUVレーザアニーリングは,AZO薄膜の微細構造,シート抵抗,光透過率に影響を及ぼす,RTA処理した薄膜のそれと比較してことを示した。X線回折(XRD)分析は基板に垂直に成長した優先的に全ての膜は,(002)ピークを持っていたことを示した。レーザ/RTAアニールしたAZO膜の光透過率スペクトルは可視領域で83%の透過率よりも大きかった。,シート抵抗(1.61kΩ/sq)は,RTAプロセス後の最適化UVレーザアニーリングは膜コンダクタンスを改善することを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： レーザビーム ,  *コンダクタンス ,  レーザアニーリング ,  *紫外レーザ ,  X線回折 ,  酸化亜鉛 ,  透過率 ,  バンドギャップ ,  *焼なまし ,  モルフォロジー ,  シート抵抗 ,  スピンコーティング
準シソーラス用語： 光透過率 ,  走査速度 ,  ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ゾル-ゲル過程 ,  Films ,  電気的性質 ,  光学的性質

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： UVレーザ ,  RTA ,  アニール ,  AlドープZnO ,  薄膜 ,  コンダクタンス