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J-GLOBAL ID:201702212808995072   整理番号:17A0363297

植込み型MEMS圧力センサのための新しい計算機支援設計ツール【Powered by NICT】

A novel computer-assisted design tool for implantable MEMS pressure sensors
著者 (5件):
資料名:
巻: 46  号: PA  ページ: 75-83  発行年: 2016年 
JST資料番号: H0781A  ISSN: 0141-9331  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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今日,生理学的信号の測定・伝送を行い,それぞれするために移植可能なバイオメディカルデバイスは一般的にMEMSベースのセンサ及びCMOSエレクトロニクスを組み合わせることとする。本研究では,容量性MEMS圧力センサの解析的モデリングとともに,MEMS設計ツール,ユーザ指定入力制約集合の充足に基づくセンサ設計提案を提供するの開発に焦点を当てた。二つの分離したフォルダは工具による出力,Ansysにおけるセンサの電気機械的及び電磁気的両解析を実行し,Cadenceデザインに含まれる準備センサレイアウト細胞を作成するために必要なすべてのファイルを含むとして発生させた。いくつかのMEMS容量性圧力センサを提案した設計ツールの助けを借りてPolyMUMPS技術で作製した。,注入された欠陥がある場合とない場合の,センサの応答は,それらの静電容量対圧力感度に及ぼす製造欠陥の影響を定量化するために研究した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (3件):
分類
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計算機システム開発  ,  専用演算制御装置  ,  CAD,CAM 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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