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J-GLOBAL ID：201702212932073752   整理番号：17A0101559

位置敏感デバイスに基づく高精度レーザ位置検出システム【JST・京大機械翻訳】

High Precision Laser Position Detecting System Based on Position Sensitive Device

著者 (4件)： Cheng Zhi (Department of Opto-Electronic Engineering,Academy of Opto-Electronics,Chinese Academy of Sciences) ,  Dong Dengfeng (Department of Opto-Electronic Engineering,Academy of Opto-Electronics,Chinese Academy of Sciences) ,  Zhou Weihu (Department of Opto-Electronic Engineering,Academy of Opto-Electronics,Chinese Academy of Sciences) ,  Liu Xin (Department of Opto-Electronic Engineering,Academy of Opto-Electronics,Chinese Academy of Sciences)
資料名： Jiguang Yu Dianzixue Jinzhan  (Jiguang Yu Dianzixue Jinzhan)
巻： 53  号： 8  ページ： 081202-1-081202-9  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2698A  ISSN： 1006-4125  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 光電子非接触測定法は微小変位測定にとって重要な意義を持ち、位置敏感素子(PSD)はスポット位置検出を実現するセンサーであり、その検出精度及びこのデバイスに基づくデータ処理方法は直接に位置測定精度に影響する。PSDの各電極から出力される光電流の大きさが光電極の位置から各電極までの距離の動作原理に基づいて、二次元レーザー位置検出システムのプランを設計した。PSD出力信号の安定性と位置検出精度を改善するために,信号処理回路の設計,パラメータ整合,フィルタリング法とリアルタイム並列計算法を研究した。実験結果は以下を示す。±2MMの方形領域において,PSDに基づいて設計された検出システムの一点安定性の精度は2ΜMより優れており,それは,レーザ位置測定に基づく高精度のリアルタイムの微小変位測定の必要条件を満たすことができる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 光電極 ,  非接触測定 ,  フィルタリング ,  *位置測定 ,  必要条件 ,  二次元 ,  並列演算 ,  光電流 ,  光電子
準シソーラス用語： *検知システム ,  実時間 ,  検出精度 ,  微小変位 ,  *位置検出 ,  *高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： measurement ,  laser position detection ,  signal processing ,  position sensitive device ,  location accuracy

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (2件)： レーザ ,  位置検出