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J-GLOBAL ID：201702213353002058   整理番号：17A0142361

AVO(オフセットによる振幅変化)プロセスとキャラクタリゼーションによる低塩酸濃度蒸気環境におけるルチルTiO_2ナノロッドアレイの容易な調製【Powered by NICT】

Facile preparation of rutile TiO₂ nanorod arrays in a low HCL concentration vapor environment by AVO process and characterizations

著者 (6件)： Wang Hairong (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Mechanical Engineering School, Xi’an Jiaotong University Xi’an, Shaanxi, China, 710049) ,  Sun Qiao (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Mechanical Engineering School, Xi’an Jiaotong University Xi’an, Shaanxi, China, 710049) ,  Wu Guishan (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Mechanical Engineering School, Xi’an Jiaotong University Xi’an, Shaanxi, China, 710049) ,  Yao Yuqing (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Mechanical Engineering School, Xi’an Jiaotong University Xi’an, Shaanxi, China, 710049) ,  Yu Yang (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Mechanical Engineering School, Xi’an Jiaotong University Xi’an, Shaanxi, China, 710049) ,  Li Yixue (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Mechanical Engineering School, Xi’an Jiaotong University Xi’an, Shaanxi, China, 710049)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： 3M-NANO  ページ： 203-207  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,配向したルチルTiO_2ナノロッドアレイ(NRA)を直接触媒,種子またはテンプレートを使用せずに簡単で環境に優しい水熱ルートである酸蒸気酸化(AVO)プロセスと呼ばれる塩酸水溶液蒸気環境の低濃度でSi基板上に堆積したチタン(Ti)薄膜上に成長させた。TiO_2NRAの成長は重要な実験パラメータ,成長時間と低いHCL濃度などを調整することによって,制御することができた。形態と結晶構造に及ぼす重要な実験パラメータの影響を,X線回折,走査電子顕微鏡,透過型電子顕微鏡および制限視野電子回折により詳細に調べた。結果は,成長時間と低いHCL濃度は,結晶構造,密度,直径およびTiO_2NRAの結晶性を調整に影響を及ぼすことを示した。ルチルTiO_2NRAは単結晶で,[101]方向に沿って成長した。AVO(オフセットによる振幅変化)プロセスによる低HCl濃度蒸気環境中で作製したルチルTiO_2NRAは,応用の種類,特にフォロー研究においてさらに探究されるガスセンサで広く使用されることができた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  単結晶 ,  *塩酸 ,  透過型電子顕微鏡 ,  ガスセンサ ,  結晶構造 ,  *ルチル ,  制限視野回折 ,  水溶液 ,  *オフセット ,  X線回折 ,  結晶度 ,  *キャラクタリゼーション
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  *ナノロッドアレイ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 酸化物の結晶成長  (BK13050I) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (11件)： AVO ,  オフセット ,  振幅 ,  プロセス ,  キャラクタリゼーション ,  塩酸 ,  蒸気 ,  環境 ,  ルチル ,  ナノロッドアレイ ,  調製