文献

J-GLOBAL ID：201702213389216055   整理番号：17A0381377

駆動運動とCoriolis運動検出のためのピエゾ抵抗NEMSに基づく超低電圧ジャイロスコープ【Powered by NICT】

Ultra-low-voltage gyroscopes based on piezoresistive NEMS for drive-motion and coriolis-motion sensing

著者 (4件)： Dellea Stefano (Polite ́cnico di Milano, Milano, Italy) ,  Strazzeri Giorgio S. (Polite ́cnico di Milano, Milano, Italy) ,  Rey Patrice (Cea-LETI, Grenoble, France) ,  Langfelder Giacomo (Polite ́cnico di Milano, Milano, Italy)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 21-24  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 研究は,感覚運動検出のための,駆動運動検出に用いるNEMSゲージに基づく第一ジャイロスコープを提案した。このような配置,構造要素は1Vより大きい電圧でバイアスされておらず,静電容量ジャイロスコープのロータに適用されたDC電圧よりも1~2桁である。機械設計に続いて,エレクトロニクスは適応している,駆動ループ,フィードスルー問題の最適除去を保証するにも抵抗センシングに依存する。約1.1(mm)~2軸の地域内に,0.3で約35000mbarの駆動モードQ因子を持つ,1.4dphWHz角度ランダムウォーク(ARW)を得た。NEMS1/f雑音によって与えられたバイアス安定性が良く見える。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 機械設計 ,  *ジャイロスコープ ,  酔歩 ,  *電圧 ,  *動き検出 ,  電子技術 ,  バイアス ,  静電容量 ,  ゲージ ,  直流電圧 ,  Q値
準シソーラス用語： フィードスルー ,  *低電圧 ,  *NEMS ,  *圧電抵抗 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 電気式制御機器  (IC02020Y) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 運動 ,  運動検出 ,  ピエゾ抵抗 ,  NEMS ,  低電圧 ,  ジャイロスコープ