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J-GLOBAL ID：201702214407348082   整理番号：17A0404074

Zr Br_2C_3H_6H_2Ar系からの化学蒸着で作製したZrC被覆層の微細構造と成長機構に及ぼす全圧の影響【Powered by NICT】

Influence of total pressure on the microstructures and growth mechanism of ZrC coatings prepared by chemical vapor deposition from the Zr-Br₂-C₃H₆-H₂-Ar system

著者 (9件)： Ma Xin (Institute of Powder Metallurgy, Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing 10083, China) ,  Ma Xin (Science and Technology on Advanced Ceramic Fibers and Composites Laboratory, School of Aerospace Science and Engineering, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China) ,  Chen Si’an (Science and Technology on Advanced Ceramic Fibers and Composites Laboratory, School of Aerospace Science and Engineering, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China) ,  Mei Min (Science and Technology on Advanced Functional Composites Laboratory, Aerospace Research Institute of Materials and Processing Technology, Beijing 100076, China) ,  Li Yong (Science and Technology on Advanced Ceramic Fibers and Composites Laboratory, School of Aerospace Science and Engineering, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China) ,  Hu Haifeng (Science and Technology on Advanced Ceramic Fibers and Composites Laboratory, School of Aerospace Science and Engineering, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China) ,  He Xinbo (Institute of Powder Metallurgy, Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing 10083, China) ,  Li Guangde (The Fifth Research Institute, Equipment Academy of the Rocket Force, Beijing ,100094, China) ,  Qu Xuanhui (Institute of Powder Metallurgy, Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing 10083, China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 43  号： 4  ページ： 3501-3509  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭化ジルコニウム(ZrC)皮膜をZr Br_2C_3H_6H_2Ar系からの化学蒸着による黒鉛基板上に堆積した。ZrCの成長に及ぼす全圧の影響は60kPaの範囲で調査した。全圧が増加すると,蒸着速度は明らかに増加し,ZrC皮膜の優先配向は(200)面から(220)面へ変化した。成長機構は40kPaの全圧での質量輸送反応から変化した表面反応に拡張した。20kPa以下の全圧では,蒸着は結晶成長によって支配されていたので,被覆は<001>方向に沿って成長した良好なファセットのピラミッド形結晶から構成されていた。60kPa以上の全圧力では,ZrC皮膜の成長は核形成機構によって制御され,被覆は<110>方向に沿って成長する急速にクラスタ状結晶であった。添加では,低圧力は遊離炭素を含まない近化学量論ZrCの形成に貢献した。ZrC皮膜のこれらの変化は主に全圧の増加に伴ってガス過飽和と著しく変化した輸送拡散係数に起因すると考えられる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 過飽和 ,  物質移動 ,  低圧 ,  拡散係数 ,  核形成 ,  表面反応 ,  ファセット ,  *被覆層 ,  高速度 ,  皮膜 ,  化学量論 ,  角錐 ,  優先配向
準シソーラス用語： 蒸着速度 ,  *全圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ZrC被覆 ,  超高温セラミック ,  全圧 ,  化学蒸着 ,  Microstructure ,  成長機構

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (6件)： Zr ,  化学蒸着 ,  作製 ,  微細構造 ,  成長 ,  全圧