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J-GLOBAL ID：201702214477064220   整理番号：17A0315293

MOCVDによるMgAl_2O_4(100)基板上の単結晶a TiO_2膜の特性評価【Powered by NICT】

Characterization of single crystalline a-TiO₂ films on MgAl₂O₄(100) substrates by MOCVD

著者 (5件)： Xu Haisheng (School of Physics and Key Laboratory of Particle Physics and Particle Irradiation (MOE), Shandong University, Jinan 250100, China) ,  Zhao Wei (School of Physics and Key Laboratory of Particle Physics and Particle Irradiation (MOE), Shandong University, Jinan 250100, China) ,  Feng Xianjin (School of Physics and Key Laboratory of Particle Physics and Particle Irradiation (MOE), Shandong University, Jinan 250100, China) ,  Luan Caina (School of Physics and Key Laboratory of Particle Physics and Particle Irradiation (MOE), Shandong University, Jinan 250100, China) ,  Ma Jin (School of Physics and Key Laboratory of Particle Physics and Particle Irradiation (MOE), Shandong University, Jinan 250100, China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 42  号： 12  ページ： 13863-13867  発行年： 2016年09月 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有機金属(OM)源としてテトラキスジメチルアミノチタン(TDMAT)を用いた有機金属化学蒸着(MOCVD)法により500 650°Cの基板温度でMgAl_2O_4(100)基板上に堆積したアナターゼ相TiO_2(a TiO_2)膜。構造分析は,600°Cで調製したTiO_2膜は双晶をもつ最良の単結晶品質を持っていたことを示した。膜の面外および面内エピタキシャル関係はTiO_2(001)MgAl_2O_4(100)およびTiO_2[100]MgAl_2O_4[100]であった。化学量論組成の均一でコンパクトな表面は600°C蒸着試料で得られた。可視範囲における全TiO_2膜の平均透過率は91%を超えており,膜の光学バンドギャップは3.31から3.41eVに変化した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 光学ギャップ ,  構造解析 ,  *キャラクタリゼーション ,  双晶 ,  蒸着 ,  基板温度 ,  品質 ,  *MOCVD ,  透過率 ,  アナターゼ ,  エピタクシー ,  *単結晶
準シソーラス用語： 化学量論組成 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： TiO_2 ,  MOCVD ,  TDMAT ,  MgAl_2O_4

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (3件)： MOCVD ,  単結晶 ,  特性評価