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J-GLOBAL ID：201702214508313329   整理番号：17A0445194

2の異なる形SnO_2膜の物理化学的およびガス検出特性の比較解析【Powered by NICT】

Comparative analysis of physico-chemical and gas sensing characteristics of two different forms of SnO₂ films

著者 (3件)： Kwoka M. (Institute of Electronics, Silesian University of Technology, 44-100 Gliwice, Poland) ,  Ottaviano L. (CNR- SPIN & Department of Physics and Chemical Sciences, University of L’Aquila, 67100, Italy) ,  Szuber J. (Institute of Electronics, Silesian University of Technology, 44-100 Gliwice, Poland)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 401  ページ： 256-261  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,それぞれ,二種の異なる形レオタキシャル成長及び熱酸化(RGTO)によって作製した二酸化すず(SnO_2)膜のガスセンサ応答とレーザ増強化学蒸着(L CVD)法により結合された結晶度,形態および化学の比較研究の研究の結果を提示した。この目的のためにX線回折(XRD),走査電子顕微鏡(SEM),原子間力顕微鏡(A FM)とX線光電子分光法(XPS)を用いた。両試料のXRD研究は,酸化スズ(SnO)相からの明らかな寄与なしに錫石ルチル相の結晶SnO_2からの寄与を示した。SEMとA FM研究は,RGTOとL-CVD SnO_2試料の表面形態は,異なるサイズと表面粗さの結晶粒/ナノ粒子によって特徴づけられることを示した。XPS研究により,両者のSnO_2は相対[O]/[Sn]濃度1.8のわずかな非化学量論,相対[C]/[Sn]濃度3.5と3.2の内部結晶粒の表面でわずかに異なる量のC汚染を,それぞれことを確認した。センサ材料の内部表面での潜在的なガス吸着用の規制されない障壁を形成するので,この望ましくないC汚染は無視できない。感度はL-CVD SnO_2試料に比べてRGTO SnO_2の明らかに小さくなるので,これは両SnO_2試料のNO_2大気中のガスセンサ応答で確認したが,応答時間は完全に逆の傾向を示した。はL-CVD SnO_2試料に比べてDebye長に関して,RGTO SnO_2の観察されたより高いC汚染と内部表面と結晶粒サイズの小さい拡張に起因する。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  熱酸化 ,  錫石 ,  結晶粒径 ,  結晶粒 ,  原子間力顕微鏡 ,  結晶度 ,  ナノ粒子 ,  X線光電子分光法 ,  *ガスセンサ ,  結晶 ,  非化学量論 ,  酸化スズ
準シソーラス用語： 表面形態 ,  二酸化スズ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (11件)： 二酸化すず ,  RGTO ,  L-CVD ,  結晶度 ,  Morphology ,  化学 ,  XRD ,  SEM ,  A FM ,  XPS法 ,  NO_2ガスセンサ応答

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (2件)： 形 ,  解析