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J-GLOBAL ID：201702214683268183   整理番号：17A0576949

中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(第4報)-石英ガラス製回転体基盤に対するプラズマジェット加工特性の評価-

著者 (8件)： 小林勇輝 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  後藤惟樹 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  遠藤勝義 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山崎大 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  丸山龍治 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  曽山和彦 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  林田洋寿 (総合科学研究機構 東海事業セ CROSS東海)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.P14  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 中性子応用計測において,集光デバイスを用いた中性子線の高強度化による測定時間の短縮が求められている。我々はマイクロ波プラズマジェットを用いた数値制御PCVMにより,石英ガラス製のマンドレルを作製し,その上にNiC/Tiの多層膜を積層し,これを離型することで,中性子集光用Wolter I型スーパーミラーの作製を目指している。本報では,石英ガラス製回転体試料へマイクロ波プラズマジェット加工を適用し,その加工特性について評価した。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ加工 ,  *マンドレル ,  *反射鏡 ,  *精密加工 ,  集光 ,  *プラズマジェット ,  石英ガラス ,  回転物体 ,  プラズマ ,  *中性子反射 ,  *中性子ビーム ,  数値制御 ,  多層膜
準シソーラス用語： *スーパーミラー ,  マイクロ波プラズマ

分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  その他の粒子光学  (BD02080I)

引用文献 (2件)：

• 小林勇輝 他,2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 (2016) 277-278.
• H. Wolter, Ann. Phys. 10 (1952) 94-114.

タイトルに関連する用語 (11件)： 中性子 ,  集光 ,  Wolterミラー ,  マンドレル ,  作製 ,  石英ガラス ,  回転体 ,  基盤 ,  プラズマジェット ,  加工特性 ,  評価